一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201510889560.1 （22）申请日 2015.12.04

（71）申请人 新特能源股份有限公司

地址 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡

（10）申请公布号 CN106829863A

（43）申请公布日 2017.06.13

高新技术产业园

（72）发明人 邹飞;陈喜清;张旭;王玉丽;张治锦;郑宝刚;黎远中 （74）专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人 罗建民

（51）Int.CI

C01B3/52;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统

（57）摘要

本发明公开了一种多晶硅生产过程中氢气

的回收系统，包括：含油氢气缓冲罐；氢气压缩机，与含油氢气缓冲罐连接；氢气淋洗塔，与氢气压缩机连接，氢气淋洗塔还设置有入口用于通入多晶硅生产过程中的含尘氢气，氢气淋洗塔用于使用通入的氯硅烷作为淋洗液进行淋洗；第一过滤器，与氢气淋洗塔的塔釜连接，第一过滤器

用于进行过滤，得到过滤后的氯硅烷。上述系统避免了含尘氢气中的硅尘对于氢气压缩机的磨损损坏，解决了长时间运行后的氢气压缩机的维护困难的问题，且该系统可以同时处理含尘氢气和含油氢气，得到的回收氢气的纯度大大提高，减少氢气损耗和电解槽开启台数，提高系统平稳性，进而提高再利用氢气制备得到的多晶硅的纯度。

法律状态

法律状态公告日2017-06-13 2017-06-13 2017-06-13 2017-07-07 2017-07-07 2019-03-22

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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