专利名称：铁电薄膜及使用该铁电薄膜的薄膜电容器专利类型：发明专利
发明人：野口毅,樱井英章,藤井顺,渡边敏昭,曽山信幸申请号：CN201110375437.X申请日：20111123公开号：CN103130502A公开日：20130605
摘要：本发明提供了一种能够提高寿命可靠性的铁电薄膜及使用该铁电薄膜的薄膜电容器。本发明的铁电薄膜采取如下形态，即由选自包括Bi、Si、Pb、Ge、Sn、Al、Ga、In、Mg、Ca、Sr、Ba、V、Nb、Ta、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Cd、Li、Na、K、P、B、Ce、Nd、Sm及Cs的组中的1种或2种以上元素构成的金属氧化物以某种恒定比例混合在由(PbLa)(ZrTi)O(式中，0.9＜x＜1.3，0≤y＜0.1，0≤z＜0.9)所示的复合金属氧化物中的混合复合金属氧化物的形态，其中，层叠2～23层的烧成层而构成，烧成层的厚度t为45～500nm，烧成层中存在的晶粒的定方向最大径的平均x为200～5000nm，烧成层均满足1.5t＜x＜23t的关系。
申请人：三菱综合材料株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容