专利名称：用于曝光机器的检测装置及检测方法专利类型：发明专利发明人：王宏祺,林炜烽申请号：CN200410089718.9申请日：20041102公开号：CN1770419A公开日：20060510
摘要：本发明提供一种用于曝光机器的检测装置及检测方法，本发明的检测装置包括一基板、与多个设置于基板表面的图案层，其中每一个图案层的面积与曝光机器的曝光区域的尺寸相配合，并且前述的图案层包括至少两种不同的高度，此外，本发明的检测方法利用前述的曝光机器，来进行一曝光程序于检测装置上或是具有一光致抗蚀剂层的检测装置上，随后并藉由比对曝光机器所计算的检测装置的表面数据与检测装置的实际表面数据，或是藉由观察曝光后的光致抗蚀剂图案，以测试曝光机器的性能。
申请人：力晶半导体股份有限公司
地址：台湾省新竹市
国籍：CN
代理机构：北京市柳沈律师事务所
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