（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201410341407.0 （22）申请日 2014.07.17
（71）申请人 中国科学院上海技术物理研究所
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
（10）申请公布号 CN104261873B
（43）申请公布日 2016.05.18
（72）发明人 王少伟;刘星星;陆卫;俞立明;陈效双 （74）专利代理机构 上海新天专利代理有限公司
代理人 郭英
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种调节二氧化钒薄膜相变温度的方法
（57）摘要
本发明提出了一种调节二氧化钒薄膜
相变温度的方法。对金属钒或低价态钒氧化物薄膜进行真空条件下通氧退火，通过改变退火过程中氧气分压来调节生成的二氧化钒薄膜的相变温度。这种调节相变的方式不依赖于衬底，既可以在晶体衬底上实现，也可以在非晶衬底上实现，是一种非常简单有效的二氧化钒薄膜相变温度调节方法，灵活性强、操作简便、成本低廉，并可与其它相变温度调节方法兼容和共同使用。 法律状态
法律状态公告日
2015-01-07 2015-02-04 2016-05-18
公开
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种调节二氧化钒薄膜相变温度的方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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