专利名称：一种树状咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：张光华,王腾飞,费菲,孙卫玲,董惟昕申请号：CN201010249241.1申请日：20100810公开号：CN101921233A公开日：20101222
摘要：本发明提供了一种树状咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法，(1)将乙二胺和丙烯酸甲酯在25℃，溶剂为甲醇中搅拌反应24h，然后减压蒸馏，得到0.5代PAMAM；(2)将0.5G代PAMAM和多胺在25℃，溶剂为甲醇中搅拌反应24h，然后减压蒸馏，得到1.0代PAMAM；(3)将脂肪酸和1.0代PAMAM以及携水剂混合，控制温度为140～160℃，反应2h后将温度升高到190℃环化反应3h，得到树状咪唑啉中间体；(4)在90℃搅拌的条件下，将咪唑啉中间体和季胺化试剂以摩尔比为1∶1投料，反应3h即可。本发明合成的缓蚀剂含有多个咪唑啉环，其缓蚀率最高达95.96％，远大于传统缓蚀剂的缓蚀率80％。
申请人：陕西科技大学
地址：710021 陕西省西安市未央区大学园1号
国籍：CN
代理机构：西安通大专利代理有限责任公司
代理人：汪人和
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