专利名称：一种新型真空机构专利类型：实用新型专利
发明人：李鹏飞,王树林,陈剑雨,王武鹏申请号：CN201620202036.2申请日：20160316公开号：CN205542854U公开日：20160831
摘要：本实用新型公开了一种新型真空机构，包括真空腔体、腔体传动装置以及设在真空腔体上的硅片传动平面，腔体传动装置上设有传动载体，其中腔体传动装置和真空腔体之间设有破空气路，所述破空气路上设有大气破空阀门。本实用新型腔体传动装置和真空腔体之间设有破空气路，破空时通入气流，其中真空腔体一分为二，腔室在硅片传动的上方的，腔室上盖在硅片传动的下方，在破空时形成的上下对吹气流，降低产品不良率同时也大大的提交了生产效率。
申请人：钧石(中国)能源有限公司
地址：362000 福建省泉州市鲤城区常泰街道仙塘社区
国籍：CN
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