专利名称：一种晶圆测试用升降机构专利类型：实用新型专利
发明人：顾卫民,吴熙文,吴卓鸿,张梅申请号：CN202020788986.4申请日：20200513公开号：CN212403332U公开日：20210126
摘要：本实用新型公开了一种晶圆测试用升降机构，包括底板，所述底板的顶部设置有升降板，所述底板顶部的前侧固定连接有立板，所述底板的顶部固定连接有传动电机，所述传动电机的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有齿条，所述立板的正面设置有与齿条啮合的齿轮，所述齿轮的背面固定连接有传动杆。本实用新型通过螺杆带动齿条移动，能够提高齿条移动的稳定性，防止出现回转的现象，通过齿条带动齿轮旋转，能够对转盘的旋转角度进行控制，而且齿轮与齿条的传动效率高，替代了现有使用倾斜角度挤压上升的操作方式，解决了现有升降机构结构复杂，制造成本高，而且升降机构顶升力较小，顶升稳定性较差，精度低的问题。
申请人：无锡芯启博科技有限公司
地址：214000 江苏省无锡市新吴区震泽路18-2无锡软件园二期狮子座A-1层
国籍：CN
代理机构：苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：朱亮
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