作者：贾曦[1];梅艳[1];王君伟[2]
作者机构：[1]乐山职业技术学院新能源工程系,四川乐山614000;[2]浙江理工大学光电材料与器件中心,浙江杭州310018
出版物刊名：化工管理 页码：192-193页 年卷期：2018年 第24期
主题词：脉冲激光溅射;BiFeO3;薄膜
摘要：在SrTiO_3衬底上,用脉冲激光溅射制备BiFeO_3单层膜,用XRD、AFM、SEM和EDS表征薄膜的晶体结构、表面形貌和组成。用X射线全反射法测量BiFeO_3膜厚为120nm,计算其沉积速率为0.67nm/min。
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