专利名称：一种溅射用铌管状靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：王国栋,林小辉,梁静,李来平申请号：CN201110396523.9申请日：20111203公开号：CN102489951A公开日：20120613
摘要：本发明公开了一种溅射用铌管状靶材的制备方法，该方法为：一、将扒皮后的直径为Φ180mm～Φ300mm的铌锭打孔去除芯部，得到铌管坯；二、采用包套材料将铌管坯包覆密封后加热至900℃～1100℃，并保温1h～2h，将保温后的包覆有包套材料的铌管坯在挤压比为5～9的条件下挤压，得到铌管靶；三、对铌管靶校直后进行酸洗，然后对酸洗后的铌管靶进行真空热处理；四、将经真空热处理后的铌管靶机械加工，去除包套材料，机加工平头，然后对管靶内、外表面进行抛光处理，得到溅射用铌管状靶材。本发明工艺流程简单，生产效率高，可以用于各种规格及壁厚的铌管状靶材的生产，同时也适应于其它难熔金属管状靶材的生产。
申请人：西北有色金属研究院
地址：710016 陕西省西安市未央路96号
国籍：CN
代理机构：西安创知专利事务所
代理人：谭文琰
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