专利名称：一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫
外探测器及其制备方法
专利类型：发明专利
发明人：李国强,郑昱林,王文樑,粱敬晗申请号：CN201910535044.7申请日：20190620公开号：CN110364582A公开日：20191022
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器及其制备方法。所述紫外探测器包括由下至上的衬底、石墨烯模板层、AlGaN纳米柱、与AlGaN纳米柱间形成肖特基接触的Ni第一金属层和Au第二金属层，还包括填充AlGaN纳米柱中的SiN绝缘层，且Ni第一金属层和Au第二金属层作为电极材料组成叉指电极。AlGaN材料的禁带宽度可根据Al组分的不同从3.4 eV到6.2 eV连续可调，因而可对波长为200 nm到365 nm的光进行有效探测，具有良好的日盲特性；本发明的紫外探测器对UVA‑C紫外光具有十分高的灵敏探测，可应用于紫外导弹制导、明火探测和太阳照度检测等领域。
申请人：华南理工大学
地址：510640 广东省广州市天河区五山路381号
国籍：CN
代理机构：广州粤高专利商标代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容