专利名称：真空镀膜装置及其真空镀膜方法专利类型：发明专利发明人：熊丹
申请号：CN201410379918.1申请日：20140804公开号：CN104120399A公开日：20141029
摘要：本发明公开了一种真空镀膜装置及其真空镀膜方法，用于玻璃基片的真空镀膜，该装置包括小腔体、蒸发管道、真空泵、晶振检测仪、安装有基片传输机构的主腔体，及安装有线性蒸发源的副腔体，主腔体位于副腔体上方并通过一可开闭的挡板隔开，小腔体位于主腔体上方并通过一阀门隔开，蒸发管道的入口与线性蒸发源相接触，出口穿过挡板和主腔体朝向并临近阀门；晶振测试仪包括晶振片和检测机构，晶振片安装在小腔体内并位于蒸发管道出口的上方，检测机构测量晶振片的频率变化并计算出接近实际镀膜厚度的测量镀膜厚度和相应的测量膜厚速率；真空泵分别与主腔体和小腔体相连。与现有技术相比，本发明不但可延长晶振片使用寿命，同时方便更换晶振片。
申请人：熊丹
地址：523011 广东省东莞市南城区金丰路10号江南第一城17栋1单元501房
国籍：CN
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