专利名称：一种基于四象限光栅的三维微位移传感器结构专利类型：发明专利发明人：张瑞,李孟委,靳黎明申请号：CN202010495494.0申请日：20200603公开号：CN111595243A公开日：20200828
摘要：本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于四象限光栅的三维微位移传感器结构，所述第一激光器、第二激光器、第三激光器的正下方分别设置有第一准直透镜、第二准直透镜、第三准直透镜，所述第一准直透镜、第二准直透镜、第三准直透镜的下方设置有上层光栅，所述第一下层固定光栅的底部连接有第一四象限探测器，所述下层台阶四象限光栅的底部连接有第二四象限探测器，所述第二下层固定光栅的底部连接有第三四象限探测器。本发明使用双层光栅结构，增大了微位移测量的量程；并且本发明通过一个位移输入端实现三维微位移的分立测量，降低了噪声干扰。本发明用于微位移的测量。
申请人：中北大学
地址：030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
国籍：CN
代理机构：太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
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