专利名称：一种基板干燥方法和实现该方法的装置专利类型：发明专利发明人：耿彪
申请号：CN201610161870.6申请日：20160322公开号：CN105826221A公开日：20160803
摘要：本发明涉及半导体、太阳能电池制造技术及液晶制造技术领域，公开了一种基板干燥方法，包括基板定位步骤，水溶液漂洗步骤，热流体预热步骤，有机溶剂脱水步骤和惰性气体干燥步骤。实现该方法的装置包括内槽体、外槽体和后开槽盖，内槽体内设置有专用工装和定位卡槽，后开槽盖上设置有第一喷淋机构和第二喷淋机构。采用本发明的基板干燥方法和装置，在处理大量的基板时，能够实现基板的快速脱水干燥，降低滞流部分颗粒对被处理物的污染，减少有机溶剂用量，提高了操作安全性。
申请人：耿彪
地址：053800 河北省衡水市深州市大堤上镇耿庄村15号
国籍：CN
代理机构：北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张清彦
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容