机台名称：真空等离子清洗机
机台型号：PM120L/PM180L
整机规格：PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
电极规格： PM120L: 10层平板式电极板（470(W)×410(D)mm）可定制
PM180L: 10层平板式电极板（530(L)×400(W)mm）可定制
电源系统：5KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
控制系统：触摸屏+PLC自动控制
进气系统：2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等等。
1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
二，实验用真空等离子设备PMT-100
机台型号：PMT-100（实验用机）
整机规格：600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
真空室规格：200(W)×200(H)×200(D)mm
电极规格：190 ×150×2层
电源系统：1KW等离子体发生源（可选13.56MHz）
控制系统：触摸屏+PLC自动控制
进气系统：2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化
三，FPC卷材用卷对卷真空等离子处理机 RTR2000-W550型
机台名称： 卷对卷式等离子体处理系统
机台型号： OKSUN-RTR2000L-W800H
处理宽幅： 100mm～800mm（可定制）
真空腔： 2000L（可定制）
电源系统： 2KW～10KW等离子体发生源
控制系统： 触摸屏+PLC自动控制
进气系统： 标配2路工作气体，可扩展至5路工作气
体（Ar2、N2、H2、CF4、O2）
机台用途：用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备；
设备特点：主要用于处理100～600mm宽幅之材料，材料在真空室内部水平处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。
四，卷对卷等离子处理机 RTR6000-W2000型
机台名称： 卷对卷式等离子体处理系统
机台型号： OKSUN-RTR6000L-W1800G
处理宽幅： 100mm～1800mm（可定制）
真空腔： 6200L（可定制）
电源系统： 2KW～10KW等离子体发生源
控制系统： 触摸屏+PLC自动控制
进气系统： 标配2路工作气体，可扩展至5路工作气
体（Ar2、N2、H2、CF4、O2）
机台用途：用于处理PE薄膜、PET薄膜，聚酯薄膜，聚酰亚胺PI薄膜，聚酯纤维布等表面处理的真空卷对卷设备；
设备容积：6200L；
设备特点：主要用于处理100～1800mm宽幅之材料，材料在真空室内部垂直处理，独特电极结构，专门处理宽幅材料薄膜等卷材；
五，卷对卷等离子处理机 RTR1000L-W600A
机台名称： 卷对卷式等离子体处理系统
机台型号：OKSUN-RTR1000L-W600A
处理宽幅： 100mm～600mm（可定制）
真空腔： 1200L（可定制）
电源系统： 2KW～10KW等离子体发生源
控制系统： 触摸屏+PLC自动控制
进气系统： 标配2路工作气体，可扩展至5路工作气
体（Ar2、N2、H2、CF4、O2）
机型用途：用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备；
设备特点：主要用于处理100～600mm宽幅之材料，材料在真空室内部水平处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。
真空室自动开关，一键式启停，操作简单方便。
※ 真空室内置张力控制系统，有效保护材料涨缩，使处理更加平稳；
※ 高性能等离子发生器，激发更为稳定之等离子体；
※ 特殊电极结构，更适合宽幅双面材料进行等离子体表面处理；
※ 采用中通水冷电极，真正实现过程温度控制，均衡均一；
※ 独特的卷曲设计，有效解决了卷式材料穿料问题，牵引材料更加便捷；
※ 具备上下料车，取代人工上下材料，上下卷更加方便；
※ 变频节能，通过真空制自动调节变频器频率，达到自动调节真空泵转速维持真空度；
六，PCB用水平等离子处理机
整机规格：2000(W)×1500(D)×1960(H) mm
电极规格：17层平板式电极板（944W×790 D mm (28W ×24D in)）
电源系统：10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
控制系统：PC工控系统+PLC自动控制
进气系统：2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化
七，PR60/80L真空等离子清洗机
机台型号：PR60/80L
整机规格：PR60L: 6层1200mm(W)×960mm(D)×1720mm（H）
PR80L:8层 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
电极规格：6层平板式电极板（383mm×317mm）
8层平板式电极板（420mm×360mm）
电源系统：0-1000W等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
控制系统：触摸屏+PLC自动控制
进气系统：2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等等。
1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
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