专利名称：晶圆偏转装置和晶圆处理装备专利类型：实用新型专利发明人：李长坤,赵德文,路新春申请号：CN202021343447.6申请日：20200710公开号：CN211507600U公开日：20200915
摘要：本申请公开了一种晶圆偏转装置，包括晶圆托架和驱动晶圆托架在第一定向和第二定向之间摆动的驱动机构，其控制晶圆托架以符合预定的角速度‑时间曲线的方式从第一定向摆动到第二定向，角速度‑时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段，驱动机构包括摆动轴和驱动摆动轴旋转的电机组件，晶圆托架与摆动轴连接以随摆动轴摆动，晶圆托架包括弓形托臂，弓形托臂的轮廓为60‑180的圆弧，托臂上对称的设置有多个凸起状的用于托起支撑晶圆的支托部，支托部具有深度为2mm‑5mm的用于载置晶圆的V形槽，支托部彼此之间沿弓形托臂的轮廓方向相距超过5mm并且它们长度之和不超过236mm。本申请还公开了一种具有上述晶圆偏转装置的晶圆处理装备。
申请人：清华大学,华海清科股份有限公司
地址：100084 北京市海淀区清华园1号
国籍：CN
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