专利名称：输送装置和输送方法专利类型：发明专利发明人：田边广太,天野洋一申请号：CN201910536209.2申请日：20190620公开号：CN110634781A公开日：20191231
摘要：本发明能够抑制齿轮的齿隙所导致的被处理基片的位置偏离。输送装置包括：基座部件、臂和驱动部。基座部件可旋转地设置于输送室内。臂设置于基座部件上，并支承被处理基片。驱动部利用从动力源经由齿轮传递来的动力，使基座部件向第一旋转方向或者作为第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转。另外，在将由臂支承的被处理基片输送到处理室时，驱动部使基座部件旋转以使得臂的方向成为从第一径向向第二旋转方向偏离规定角度的第二径向，其中第一径向是从基座部件的旋转中心去向处理室的方向。然后，驱动部使基座部件向第一旋转方向旋转规定角度以使得臂的方向从第二径向成为第一径向。
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京尚诚知识产权代理有限公司
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