（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910888621.0 （22）申请日 2019.09.19
（71）申请人 苏州拓升智能装备有限公司
地址 215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路1258号B3幢二楼
（10）申请公布号 CN110777364A
（43）申请公布日 2020.02.11
（72）发明人 王玉明;刘景博;陈晖;张庶
（74）专利代理机构 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 韩飞
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备
（57）摘要
本发明公开了一种石墨舟的缓存导正装置
及管式PECVD设备，该石墨舟的缓存导正装置包括：底座，其将各个组件固定；至少两组校正机构，其调整石墨舟的位置；以及感应组件，其包括触发组件和响应组件；其中，两两所述校正机构对称设置于所述底座的两侧，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两两所述校正机构之间。本案的石墨舟的缓存导正装置有效防止石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，对石墨舟造成
划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。
法律状态
法律状态公告日
2020-02-11 2020-02-11 2020-03-06
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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