专利名称：压电性能测试方法及结构专利类型：发明专利
发明人：沈宇,占瞻,童贝,石正雨申请号：CN202011292251.3申请日：20201118公开号：CN112557774A公开日：20210326
摘要：本发明公开一种压电性能测试方法，该方法包括如下步骤：步骤S1、将交流信号输入至待测样品的信号输入端；步骤S2、通过输入的交流信号使待测样品通过逆压电效应产生形变，待测样品将形变转换成电信号输出；步骤S3、获取待测样品的信号输出端的输出电信号，输出电信号为压电薄膜通过正压电效应产生；步骤S4、将输出电信号进行信号放大或者信号处理，以获得压电薄膜的压电系数。本发明还公开两种压电性能测试结构。与相关技术相比，本发明的压电性能测试方法和的压电性能测试结构的结构简单且易于测试。
申请人：瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司,瑞声声学科技(深圳)有限公司
地址：213167 江苏省常州市武进区常武路801号(常州科教城远宇科技大厦)
国籍：CN
代理机构：深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：刘伟
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