专利名称：一种废铜蚀刻液的回收处理装置专利类型：发明专利发明人：夏品军
申请号：CN202010156935.4申请日：20200309公开号：CN111364093A公开日：20200703
摘要：本发明公开了一种废铜蚀刻液的回收处理装置，包括装置主体，所述装置主体内部中间位置固定安装有分隔板，所述分隔板左端表面靠近中间位置固定安装有承载板，所述承载板上端表面放置有电解池，所述电解池内部中间位置设置有隔膜，所述装置主体上端表面靠近右侧安装有进液漏斗，所述进液漏斗上设置有过滤网，所述装置主体内部靠近顶端设置有进液管，所述进液管左端连接有伸缩管，所述伸缩管下端安装有喷头。该回收处理装置能够起到循环电解蚀刻液的作用，而且可以避免蚀刻液对电解池造成冲击而影响使用寿命，具有很好的保护电解池的功能，也具有很好的清理作用。
申请人：江苏矽研半导体科技有限公司
地址：215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物医药产业园A4-511
国籍：CN
代理机构：南京正联知识产权代理有限公司
代理人：郭俊玲
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