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滚涂光刻胶涂胶轮转速

2024-11-28 来源:钮旅网

4000rpm以上。滚涂光刻胶涂胶轮当涂胶主转速到4000rpm以上时,基本上维持转速不变进行旋转。涂光刻胶也叫匀胶,就是在晶圆表面建立薄的、均匀的并且没有缺陷的光刻胶膜
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