不同蒸发源的优缺点分别是什么?
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电阻加热
蒸发源
优点:
1.结构简单、使用方便、造价低廉,因此使用普遍;2.可蒸发
蒸发温度
小于1500℃的铝、金、银等金属,蒸发一些硫化物、
氟化物
和某些氧化物.
要求:
1.蒸发源材料的自身熔点要高;
2.
饱和蒸汽压
要低;
3.
化学性能
要稳定,且具有良好的耐热性,热源变化时,
功率密度
变化较小;4.蒸发源对
膜材料
的"湿润性"好.
电子束加热
蒸发源
优点:
1.与电阻加热源相比可以减少污染;
2.能量集中,使膜料局部表面受到很高的温度,而其它部分的温度低.因此,可使
高熔点
(可以高达3000℃)的材料蒸发,且有较高的
蒸发速率
;3.可以准确、方便地控制蒸发温度;4.有较大的温度
调节范围
,对高、
低熔点
的膜料都适用,适用性宽,特别适合
蒸镀
熔点高达2000℃左右的氧化物.
缺点:
1.通常蒸镀的
膜层
较薄;
2.蒸镀的薄膜组分复杂.
激光蒸发源
优点:
1.能蒸发任何高熔点材料,可以蒸发各种材料,且获得很高的蒸发速率;2.与电阻加热蒸发源相比可以减少镀膜受污染;3.非常适合于蒸发化合物或合金;4.与
电子束蒸发
源相比,它避免了电子束蒸发膜面带电的缺点.
缺点:
1.长时间工作,激光进入
钟罩
窗口处的透镜会受到影响;2.激光蒸发器比较昂贵,且并非对所有材料都显示其优越性;3.由于
蒸发材料
温度太高,蒸发粒子(原子、分子、簇团等)多易离子化,从而会对
膜结构
和特性产生一定影响.
高频感应
蒸发源
优点:
1.它是面蒸发,蒸发速率大,可以
比电阻
蒸发源大10倍左右;2.蒸发源的温度混匀稳定,不易产生飞溅现象;3.蒸发源一次
装料
,无需
送料机构
,温度控制较容易,操作比较简单.
缺点:
1.因为接触易造成污染
2.只能蒸发导电的膜料
3.设备必须屏蔽,且需要复杂和昂贵的
高频发生器
.
