为什么同时需要旋片式机械泵和油扩散泵组合在一起作为光学真空镀
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发布时间：2024-10-28 07:32
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热心网友
时间：2024-10-28 07:36
同时需要旋片式机械泵和油扩散泵组合在一起作为光学真空镀是因为需要机械泵抽大气。根据查询相关公开信息显示，扩散泵属于增压泵，单独是不可以使用的，必须串联机械泵，如旋片泵、滑阀泵等。扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。
